在线型溶解臭氧监测仪
OZ-96i
(制造商:HORIBA Advanced Techno,Co.,Ltd. )
概要
监测半导体制造工艺中清洗、形成氧化膜等作业中所使用的臭氧水浓度。它是直接安装在主配管中、可以进行连续监测的臭氧水浓度监测仪。不需要用旁通管路来进行检测。本产品通过臭氧发生装置以及对使用点进行近似测量。
特点
可以安装在线内
可以选择3种配管直径
可以设定任意值的传送输出
可以切换小数点以下位数
零点稳定性
小巧的传感器尺寸
0.5Mpa的耐压性
远程零点校正功能
在接液部材质方面使用PFA/熔凝石英玻璃/PTFE
外形尺寸图
●转换器 OZ-96i
●传感器 CZ-10i/40i/100i/200i/300i
面板截面尺寸
规格
测量对象 |
纯水中的臭氧浓度 |
测量原理 |
UV吸收法(254nm) |
测量范围 |
CZ-10i:0?10mg/L CZ-40i:0?40mg/L CZ-100i:0?100mg/L CZ-200i:0?200mg/L CZ-300i:0?300mg/L |
再现性 |
全刻度的±2%以内 |
稳定性 |
零点飘移:全刻度±0.05%/天以内 |
传送输出 |
DC4?20mA或者0?16mA 隔离输入输出型 最大负荷电阻600Ω |
传送输出范围 |
测量范围的-10%到+110%之间的任意值 |
触点输出 |
3ch a接点输出 电容:DC24V、1Amax(电阻负荷) 根据上限/下限/FAIL/UV LOW报警分配功能 报警延迟时间设定:校正/重置选择时0?60秒保持 远程零点校正判定信号:零点校正如果正常,当零点校正指令被输入时接点被关闭。 |
接点输入 |
接收到零点校正指令后立即开始校正。信号接收时间保持处理 |
附加功能 |
零点校正、全幅灵敏度校正、全幅检验、信号水平检验功能 |
周围温度湿度 |
5?40℃ 85%RH或更低 (样品配管如果有冷凝物时请予以清除。) |
电源 |
DC24V15W |
转换器构造 |
面板安装固定型:DIN96×96 室内安装型 外盒:SUS304 面板:ABS |
外形尺寸 |
转换器:96(H)×96(W)×145(D) mm 检测器:80(H)×159(W)×154(D) mm (不包括突起部) |
质量 |
转换器:约700g 检测器:约2kg |
样品条件 |
压力:0.5MPa以内 流量:1/2英寸:10L/min 3/4英寸:40L/min 1英寸:100L/min |
检测器 |
光源结构:低压水银灯 检测器:硅光电池 接液部材质:PFA/熔凝石英/PTFE |
样品配管 |
标准:PFA3/4英寸 可选件:1/2英寸?1英寸管 |
空气排空入口 |
Φ6管 流量100mL/min |
附件 |
专用电缆线:ZK-05 标准5m, 可选件3m、10m、20m |
消耗品 |
低压水银灯:寿命2年(保修1年) |
监测半导体制造工艺中清洗、形成氧化膜等作业中所使用的臭氧水浓度。它是直接安装在主配管中、可以进行连续监测的臭氧水浓度监测仪。不需要用旁通管路来进行检测。本产品通过臭氧发生装置以及对使用点进行近似测量。
因为汇率经常变动,以上产品价格只做参考!不做下单依据!请见谅!谢谢合作!
运营商:深圳市杉本贸易有限公司
服务承诺:本产品全国联保,享受三包服务,质保期为:一年质保。如因质量问题或故障,
凭厂商维修中心或特约维修点的质量检测证明,享受7日内退货,15日内换货,
15日以上在质保期内享受免费保修等三包服务!
产品咨询电话:86-755-83501888 400-885-3088(全国免费)
售后服务电话:86-755-33072999 (0)13728614294(24小时服务)
官方网址:http://www.sugimoto.cn
电子邮件:info@esugimoto.com
服务理念:您的每一次关注,都会改变我们的成长!您的每一次支持,都会改变我们的未来!